真空炉选型要点

▲真空炉按结构分可分为立式及卧式两种系列，立式系列又分为钟罩升降式与底部托盘升降式两种。卧式系列又分单开门结构与前后双开门结构两种。炉体均采用水冷夹壁结构。炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

▲加热形式有电阻及感应式两种，电阻加热器根据加热材料有钼（丝、带、棒）、钨（丝、带）、镍铬 (丝、带)、石墨棒（板）、钽棒、镍铬（丝、带）等几种类型，具体的选择取决于用户要求的最高温度。可根据不同的温度、工艺条件和对工艺环境的要求进行选择。一般取决于用户要求的最高温度。具体的选择加热器分布方式有四面加热型和全方位加热两种，确保用户对炉内温度均匀型的要求。

▲加热保温室采用全金属型及复合型两种可供选择，全金属型采用耐热不锈钢与钼屏组成；复合型采用耐热不锈钢、钼屏与碳毡、莫来石纤维或硅酸盐纤维组成。具体选择取决于用户的工艺条件和对工艺环境的要求进行选择。

▲真空系统由离子泵+涡轮分子泵+机械泵、涡轮分子泵+机械泵、扩散泵+罗茨泵+机械泵、罗茨泵+机械泵、低温冷凝泵+机械泵、机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵等几种类型，

▲以及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成，根据极限真空度、工艺要求等指标自行选择。

▲温度控制系统可选择不同类型的测温仪、控温仪表及它们的传感元件。温度控制一般采用进口智能温控仪，能实现升温、恒温、降温的自动控制功能；具有工艺曲线存储功能，可存储多条不同的工艺曲线；具有升降温速度可调及准确的时钟功能，可以同时显示实际温度和设定温度等多种参数；具有PID参数自运算及掉电保护功能。具有完善的报警及保护措施。

▲真空测量可选择高可靠的进口数字智能真空计或国产质优的真空计及优质的测量规管，确保真空度的准确性及产品可靠性。真空度应与温度控制连锁，满足工艺要求。 　

▲记录仪可选择进口多点记录仪，可记录全部工艺过程的真空度、压力、温度等工艺曲线，便于全程工艺分析、质量监控及生产管理。　　　

▲根据设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。整个工艺过程控制采用进口可编程序控制器(PLC)完成，全部动作均采用连锁保护，具有手动及自动两种工作方式，用户可以选择全手动工作方式，也可以选择工控机群控多台的方式。

▲可根据使用要求配有各种充气类型、质量流量计、浮子流量计等，满足充气压力可控、多路充气等要求。

▲对超温、温度偏差大、炉体、泵、热交换器等缺水、扩散泵缺相、炉体充气过压、气源压力不足、过流过压、断路等异常情况进行声光报警并执行相应保护措施。