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真空炉选型要点

作者:蔡东俊 人气:30271 日期:2026-01-08 15:30:33

         

           真空炉选型要点

真空炉按结构分可分为立式及卧式两种系列,立式系列又分为钟罩升降式与底部托盘升降式两种。卧式系列又分单开门结构与前后双开门结构两种。炉体均采用水冷夹壁结构。炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

加热形式有电阻及感应式两种,电阻加热器根据加热材料有钼(丝、带、棒)、钨(丝、带)、镍铬 (丝、带)、石墨棒(板)、钽棒、镍铬(丝、带)等几种类型,具体的选择取决于用户要求的最高温度。可根据不同的温度、工艺条件和对工艺环境的要求进行选择。一般取决于用户要求的最高温度。具体的选择加热器分布方式有四面加热型和全方位加热两种,确保用户对炉内温度均匀型的要求。

加热保温室采用全金属型及复合型两种可供选择,全金属型采用耐热不锈钢与钼屏组成;复合型采用耐热不锈钢、钼屏与碳毡、莫来石纤维或硅酸盐纤维组成。具体选择取决于用户的工艺条件和对工艺环境的要求进行选择。

真空系统由离子泵+涡轮分子泵+机械泵、涡轮分子泵+机械泵、扩散泵+罗茨泵+机械泵、罗茨泵+机械泵、低温冷凝泵+机械泵、机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵等几种类型,

以及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成,根据极限真空度、工艺要求等指标自行选择。

温度控制系统可选择不同类型的测温仪、控温仪表及它们的传感元件。温度控制一般采用进口智能温控仪,能实现升温、恒温、降温的自动控制功能;具有工艺曲线存储功能,可存储多条不同的工艺曲线;具有升降温速度可调及准确的时钟功能,可以同时显示实际温度和设定温度等多种参数;具有PID参数自运算及掉电保护功能。具有完善的报警及保护措施。

真空测量可选择高可靠的进口数字智能真空计或国产质优的真空计及优质的测量规管,确保真空度的准确性及产品可靠性。真空度应与温度控制连锁,满足工艺要求。  

记录仪可选择进口多点记录仪,可记录全部工艺过程的真空度、压力、温度等工艺曲线,便于全程工艺分析、质量监控及生产管理。   

根据设备使用特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。整个工艺过程控制采用进口可编程序控制器(PLC)完成,全部动作均采用连锁保护,具有手动及自动两种工作方式,用户可以选择全手动工作方式,也可以选择工控机群控多台的方式。

可根据使用要求配有各种充气类型、质量流量计、浮子流量计等,满足充气压力可控、多路充气等要求。

对超温、温度偏差大、炉体、泵、热交换器等缺水、扩散泵缺相、炉体充气过压、气源压力不足、过流过压、断路等异常情况进行声光报警并执行相应保护措施。

快冷却系统由罗茨鼓风机外循环结构、离心风机外循环结构、冷壁离心风机内循环结构等几种类型,满足不同降温速度的要求。可选择自然冷却及热交换器循环方式,对于容量大的电炉可采用外循环快冷却系统,提高降温速度。

         

 

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真空炉选型要点
Key Points for Vacuum Furnace Selection
真空炉选型要点
▲ 真空炉按结构分可分为立式及卧式两种系列,立式系列又分为钟罩升降式与底部托盘升降式两种。卧式系列又分单开门结构与前后双开门结构两种。炉体均采用水冷夹壁结构。炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。
▲ Vacuum furnaces are classified by structure into vertical and horizontal series. The vertical series includes bell-jar lifting type and bottom tray lifting type. The horizontal series includes single-door structure and front-and-back double-door structure. The furnace body adopts a water-cooled jacket structure. The furnace body can be selected from a double-layer water-cooled structure made of stainless steel, carbon steel, or their combination.
▲真空炉按结构分为立式和卧式两大系列。立式系列包括钟罩式提升和底盘式提升。卧式系列包括单门结构和前后双门结构。炉体采用水冷夹套结构。炉体可选用不锈钢、碳钢或二者组合制成的双层水冷结构。
▲ 加热形式有电阻及感应式两种,电阻加热器根据加热材料有钼(丝、带、棒)、钨(丝、带)、镍铬 (丝、带)、石墨棒(板)、钽棒、镍铬(丝、带)等几种类型,具体的选择取决于用户要求的最高温度。可根据不同的温度、工艺条件和对工艺环境的要求进行选择。一般取决于用户要求的最高温度。具体的选择加热器分布方式有四面加热型和全方位加热两种,确保用户对炉内温度均匀型的要求。
▲ There are two heating forms: resistance and induction. Resistance heaters, depending on the heating material, include types such as molybdenum (wire, strip, rod), tungsten (wire, strip), nichrome (wire, strip), graphite rod (plate), tantalum rod, nichrome (wire, strip), etc. The specific selection depends on the maximum temperature required by the user. Selection can be made based on different temperatures, process conditions, and requirements for the process environment. Generally, it depends on the maximum temperature required by the user. The heater distribution methods include four-sided heating type and all-around heating type to ensure the user's requirements for temperature uniformity in the furnace.
▲ 加热方式有两种:电阻加热和感应加热。电阻加热器根据加热材料的不同,包括钼(丝、带、棒)、钨(丝、带)、镍铬合金(丝、带)、石墨棒(板)、钽棒、镍铬合金(丝、带)等。具体选择取决于用户所需的最高温度。选择时可考虑不同的温度、工艺条件和工艺环境要求。通常,选择取决于用户所需的最高温度。加热器分布方式包括四面加热和全方位加热,以确保用户对炉内温度均匀性的要求。
▲ 加热保温室采用全金属型及复合型两种可供选择,全金属型采用耐热不锈钢与钼屏组成;复合型采用耐热不锈钢、钼屏与碳毡、莫来石纤维或硅酸盐纤维组成。具体选择取决于用户的工艺条件和对工艺环境的要求进行选择。
▲ The heating insulation chamber offers two options: all-metal type and composite type. The all-metal type is composed of heat-resistant stainless steel and molybdenum shields; the composite type is composed of heat-resistant stainless steel, molybdenum shields, and carbon felt, mullite fiber, or silicate fiber. The specific selection depends on the user's process conditions and requirements for the process environment.
▲ 加热隔热腔有两种选择:全金属型和复合型。全金属型由耐热不锈钢和钼屏蔽层组成;复合型由耐热不锈钢、钼屏蔽层以及碳毡、莫来石纤维或硅酸盐纤维组成。具体选择取决于用户的工艺条件和工艺环境要求。
▲ 真空系统由离子泵+涡轮分子泵+机械泵、涡轮分子泵+机械泵、扩散泵+罗茨泵+机械泵、罗茨泵+机械泵、低温冷凝泵+机械泵、机械泵、扩散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵等几种类型,以及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成,根据极限真空度、工艺要求等指标自行选择。
▲ The vacuum system consists of several types, such as ion pump + turbomolecular pump + mechanical pump, turbomolecular pump + mechanical pump, diffusion pump + Roots pump + mechanical pump, Roots pump + mechanical pump, cryogenic condensation pump + mechanical pump, mechanical pump, diffusion pump, oil booster pump, expansion pump, Roots pump, etc., along with matching various pneumatic, manual, electric valves, pipelines, etc. Selection is made independently based on indicators such as ultimate vacuum degree and process requirements.
▲ 真空系统由多种类型组成,例如离子泵+涡轮分子泵+机械泵、涡轮分子泵+机械泵、扩散泵+罗茨泵+机械泵、罗茨泵+机械泵、低温冷凝泵+机械泵、机械泵、扩散泵、油增压泵、膨胀泵、罗茨泵等,并配以各种气动、手动、电动阀门、管道等。根据极限真空度和工艺要求等指标进行独立选择。
▲ 温度控制系统可选择不同类型的测温仪、控温仪表及它们的传感元件。温度控制一般采用进口智能温控仪,能实现升温、恒温、降温的自动控制功能;具有工艺曲线存储功能,可存储多条不同的工艺曲线;具有升降温速度可调及准确的时钟功能,可以同时显示实际温度和设定温度等多种参数;具有PID参数自运算及掉电保护功能。具有完善的报警及保护措施。
▲ The temperature control system can select different types of temperature measuring instruments, control instruments, and their sensing elements. Temperature control generally uses imported intelligent temperature controllers, capable of automatic control functions for heating, constant temperature, and cooling; with process curve storage function, able to store multiple different process curves; with adjustable heating and cooling rates and accurate clock function, capable of simultaneously displaying actual temperature, set temperature, and other parameters; with PID parameter self-calculation and power-off protection functions. It has complete alarm and protection measures.
▲ 温度控制系统可选择不同类型的温度测量仪器、控制仪器及其传感元件。温度控制通常采用进口智能温度控制器,具备加热、恒温和冷却的自动控制功能;具有过程曲线存储功能,可存储多条不同的过程曲线;具有可调节的加热和冷却速率以及精确的时钟功能,能够同时显示实际温度、设定温度和其他参数;具有 PID 参数自计算和断电保护功能。它具备完善的报警和保护措施。
▲ 真空测量可选择高可靠的进口数字智能真空计或国产质优的真空计及优质的测量规管,确保真空度的准确性及产品可靠性。真空度应与温度控制连锁,满足工艺要求。
▲ Vacuum measurement can select highly reliable imported digital intelligent vacuum gauges or high-quality domestic vacuum gauges and premium measuring tubes to ensure the accuracy of vacuum degree and product reliability. The vacuum degree should be interlocked with temperature control to meet process requirements.
▲ 真空测量可选择高可靠性的进口数字智能真空计或优质国产真空计及高档测量管,以确保真空度测量的准确性和产品可靠性。真空度测量应与温度控制联动,以满足工艺要求。
▲ 记录仪可选择进口多点记录仪,可记录全部工艺过程的真空度、压力、温度等工艺曲线,便于全程工艺分析、质量监控及生产管理。
▲ The recorder can select imported multi-point recorders, capable of recording process curves such as vacuum degree, pressure, temperature, etc., throughout the entire process, facilitating full-process analysis, quality monitoring, and production management.
▲ 记录仪可以选择进口多点记录仪,能够记录整个过程中真空度、压力、温度等过程曲线,便于进行全过程分析、质量监控和生产管理。
▲ 根据设备使用特点,可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。整个工艺过程控制采用进口可编程序控制器(PLC)完成,全部动作均采用连锁保护,具有手动及自动两种工作方式,用户可以选择全手动工作方式,也可以选择工控机群控多台的方式。
▲ According to equipment usage characteristics, manual, semi-automatic, fully automatic, or their combinations can be selected for control modes. The entire process control is completed using imported programmable logic controllers (PLC), with all actions adopting interlock protection, featuring both manual and automatic working modes. Users can choose fully manual operation or industrial computer group control for multiple units.
▲ 根据设备使用特点,控制模式可选择手动、半自动、全自动或其组合。整个过程控制采用进口可编程逻辑控制器(PLC),所有动作均采用联锁保护,并具备手动和自动两种工作模式。用户可以选择全手动操作或多台设备采用工业计算机群控。
▲ 可根据使用要求配有各种充气类型、质量流量计、浮子流量计等,满足充气压力可控、多路充气等要求。
▲ Various inflation types, mass flow meters, float flow meters, etc., can be equipped according to usage requirements to meet controllable inflation pressure and multi-channel inflation needs.
▲ 根据使用要求,可配备各种充气类型、质量流量计、浮球流量计等,以满足可控充气压力和多通道充气需求。
▲ 对超温、温度偏差大、炉体、泵、热交换器等缺水、扩散泵缺相、炉体充气过压、气源压力不足、过流过压、断路等异常情况进行声光报警并执行相应保护措施。
 ▲ For abnormal conditions such as over-temperature, large temperature deviation, water shortage in furnace body, pumps, heat exchangers, etc., diffusion pump phase loss, furnace body over-pressure inflation, insufficient gas source pressure, over-current/over-voltage, circuit break, etc., audible and visual alarms are provided and corresponding protection measures are executed.
▲ 快冷却系统由罗茨鼓风机外循环结构、离心风机外循环结构、冷壁离心风机内循环结构等几种类型,满足不同降温速度的要求。可选择自然冷却及热交换器循环方式,对于容量大的电炉可采用外循环快冷却系统,提高降温速度。
▲ The rapid cooling system consists of several types, such as Roots blower external circulation structure, centrifugal fan external circulation structure, cold-wall centrifugal fan internal circulation structure, etc., to meet different cooling rate requirements. Natural cooling and heat exchanger circulation modes can be selected. For large-capacity electric furnaces, external circulation rapid cooling systems can be adopted to increase cooling speed.
▲ 快速冷却系统有多种类型,例如罗茨鼓风机外循环结构、离心风机外循环结构、冷壁离心风机内循环结构等,以满足不同的冷却速率需求。可选择自然冷却或换热器循环方式。对于大容量电炉,可采用外循环快速冷却系统以提高冷却速度。

        

 

 

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