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真空概念及真空计算公式
1、玻义尔定律：
体积V，压强P，P*V=常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。即：P1/P2=V2/V1）
2、盖•吕萨克定律：
当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比（V1/V2=T1/T2=常数）。
当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高（或降低）1℃，则它的体积比原来增加（或缩小）1/273.
3、查理定律：
当气体的体积V保持不变时，一定质量的气体，压强P与其绝对温度T成正比，即：P1/P2=T1/T2。
在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高（或降低）1℃，则它的压强比原来增加（或减少）1/273。
4、平均自由程：λ=（5×E-3）/P（cm）
5、抽速：
S=dv/dt（升/秒）或S=Q/P
【Q：流量（托•升/秒）P=压强（托） V：体积（升）t=时间（秒）】
6、通导：C=Q/(P2-P1)（升/秒）
7、真空抽气时间：
对于从大气压到1托抽气时间计算式：t=8V/S(经验公式)
【V为体积，S为抽气速率，通常t在5-10分钟内选择】
8、维持泵选择：S维=S前/10
9、扩散泵抽率估算：S=3D ²（D：直径cm）
10、罗茨泵的前级抽速：S=（0.1 ~0.2）S罗（L/S）
11、漏率：Q漏=V（P2-P1）/（t2-t1）
【Q漏：系统漏率（mmHg •L/S）；V：系统容器（L）；P1：真空泵停止时系统中压强（mmHg）；P2：真空室经过时间t后达到的压强（mmHg）；t：压强从P1升到P2所经过的时间（s）】
12、粗抽泵的抽率选择：
S=Q1/P预（L/S） 【S：机械泵有效抽速 ； Q1：真空系统漏气率（托•升/秒）；P预：需要达到的预真空度（T）】
13、 前级泵抽速选择：排气口压力低于一个大气压的传输泵如：扩散泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：PnSg≥PgS或Sg≥PgS／Pn
【Sg：前级泵的有效抽速(L/S)；Pn：主泵临界前级压强（最大排气压强）；Pg：真空室最高工作压强（T）；S：主泵工作时在Pg时的有效抽速(L/S)。】
选用真空泵时，需要注意下列事项：
⑴ 、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×E-5mmHg的真空度（1kPa=7.5mmHg或1mmHg=0.13332 kPa），选用的真空泵的真空度至少要5×E-6mmHg，通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
⑵ 、正确的选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为E-3~E-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×E-4~5×E-6mmHg。因而，泵的工作点应选择在这个范围之内，而不能让它在E-8mmHg下长期工作。
⑶ 、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
⑷ 、正确的组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空，有的泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
⑸ 、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
⑹ 、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸汽，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
⑺ 、真空泵排出去的油蒸汽对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或把油蒸汽排到室外。
⑻ 、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应该选择无振动泵或者采取防振动措施。
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